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最后更新：2026-07-13
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生產(chǎn)企業(yè)：北京一葉藍(lán)天科技有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹AL-MLDMHS20型 微波制備大面積金剛石膜散熱片反應(yīng)儀
儀器簡(jiǎn)介：
AL-MLDMHS20型 微波制備大面積金剛石膜散熱片反應(yīng)儀是根據(jù)我公司的控制技術(shù)并按照高校廣大師生需求設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，此AL-MLDMHS20型 微波制備大面積金剛石膜散熱片反應(yīng)儀主要特點(diǎn)是采用915MHz微波頻率，2000W高功率固態(tài)微波源，微波穩(wěn)定輸出。可以對(duì)200mm直徑的襯底沉積金剛石薄膜。
AL-MLDMHS20型 微波制備大面積金剛石膜散熱片反應(yīng)儀具有控溫?zé)o誤、7寸顯示屏顯示、觸摸控制、操作簡(jiǎn)單方便，可以存儲(chǔ)數(shù)據(jù)。AL-MLDMHS20型 微波制備大面積金剛石膜散熱片反應(yīng)儀具有強(qiáng)大的數(shù)字處理功能，實(shí)時(shí)在線顯示和記錄反應(yīng)數(shù)據(jù)和曲線圖像，程序控制反應(yīng)條件，可將實(shí)驗(yàn)分為多個(gè)工作階段，可隨時(shí)在線修改不適宜反應(yīng)條件參數(shù)，具有保存和查詢實(shí)驗(yàn)記錄的功能。
AL-MLDMHS20型 微波制備大面積金剛石膜散熱片反應(yīng)儀作用原理是在化學(xué)氣相沉積（CVD）基礎(chǔ)上利用微波輻射，產(chǎn)生等離子體。在微波等離子化學(xué)氣相沉積（MPCVD）的技術(shù)下，碳原子通常以薄膜形式沉積在襯底表面。其中高溫襯底為到達(dá)表面的活性基團(tuán)提供能量，使其能遷移并找到合適的位置成鍵。
應(yīng)用領(lǐng)域：
AL-MLDMHS20型 微波制備大面積金剛石膜散熱片反應(yīng)儀適用于制備大面積金剛石膜、大尺寸寶石級(jí)單晶鉆石、高取向度金剛石晶體、納米結(jié)晶金剛石、石墨烯材料、Al2O3、SiOx、TiN、TiCN、金剛石涂層等。在金屬、玻璃、聚合物以及其他材料表面沉積有機(jī)或無機(jī)薄膜來保護(hù)其他表面不被腐蝕或改變其表面硬度、增強(qiáng)耐磨性能等。
AL-MLDMHS20型 微波制備大面積金剛石膜散熱片反應(yīng)儀能催化完成微波等離子體相關(guān)應(yīng)用，包括但不限于以下方面：
1、半導(dǎo)體加工：在半導(dǎo)體的蝕刻、濺射、氣相沉積、氧化硅片等生產(chǎn)工藝中使用微波等離子體技術(shù)。
2、表面處理：應(yīng)用于金屬、合金、非金屬的表面處理，如金屬表面的清洗和強(qiáng)化。
技術(shù)參數(shù)：
1、微波頻率：915MHz；
*2、微波功率:0-2000W，功率自由設(shè)置，微波功率隨溫度自動(dòng)變頻控制，非脈沖連續(xù)加熱；
*3、微波功率上限隨意設(shè)置，并且具有設(shè)置功率下限功能，保證一直有功率輸出；
*4、微波控溫方式3種，分別是以設(shè)置的上限功率加熱到設(shè)定溫度然后保溫模式、初始溫度經(jīng)過設(shè)置的時(shí)間到達(dá)設(shè)定溫度從而達(dá)到緩慢升溫效果的速率升溫模式、設(shè)置每分鐘升溫溫度度數(shù)的升溫斜率模式；
5、2位高精度非接觸式紅外溫度傳感器，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反應(yīng)物溫度以及圓形襯底臺(tái)溫度，準(zhǔn)確控制反應(yīng)進(jìn)程；
*6、紅外測(cè)溫和控溫范圍:0～1200℃；具有速率升溫功能；
7、紅外測(cè)溫精度:≤±1.5℃ 控溫精度:≤±2℃；
*8、微波控溫采用無誤AI人工智慧邏輯算法 ，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜長(zhǎng)滯后對(duì)象無誤控制，保證控溫?zé)o誤，杜絕出現(xiàn)超溫、低溫等現(xiàn)象；
*9、襯底臺(tái)中內(nèi)置輔助電阻加熱器，功率0-4000W，功率自由設(shè)置，功率隨溫度自動(dòng)控制；
*10、襯底臺(tái)中內(nèi)置接觸式K型熱電偶溫度傳感器，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)襯底臺(tái)的溫度，并且進(jìn)行反饋控制輔助電阻加熱器的功率；
11、K型熱電偶測(cè)溫和控溫范圍:0～1200℃；
12、K型熱電偶測(cè)溫精度:≤±2℃ 控溫精度:≤±2℃；
*13、壓力控制范圍：0~50KPa，壓力傳感器量程：0～100KPa，耐壓上限1MPa，控壓精度：0.2kPa；
14、20升316L奧氏體不銹鋼腔體，表面耐腐蝕、耐高溫性強(qiáng)；
15、具備冷卻水管路：用于冷卻反應(yīng)腔體、微波源等發(fā)熱部件；
16、蓋子上具備觀測(cè)的觀察窗口；
*17、微波系統(tǒng)組成：微波環(huán)行器，水負(fù)載以及連接波導(dǎo)組成。保護(hù)固態(tài)微波源，可連續(xù)不間斷持續(xù)工作。系統(tǒng)駐波系數(shù)：VSWR≤1.5；
18、7英寸高亮度TFT液晶顯示觸摸屏直接操作，Cortex-A8 CPU核心，配備USB接口；實(shí)時(shí)顯示反應(yīng)溫度和功率數(shù)據(jù)，并顯示曲線，可以保存和查詢實(shí)驗(yàn)記錄；
*19、具備：4路反應(yīng)氣體進(jìn)入管路，再混合成1路送入腔體內(nèi)；
20、具備：真空管路用于抽真空；
21、具備：尾氣處理管路用于安全排放反應(yīng)產(chǎn)生的危險(xiǎn)或有害氣體；
22、可以進(jìn)行氣氛、真空以及微正壓環(huán)境下反應(yīng)實(shí)驗(yàn)；
23、微波泄漏符合國家標(biāo)準(zhǔn)。
*表示我公司優(yōu)勢(shì)技術(shù)。 |
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| 會(huì)員級(jí)別：免費(fèi)會(huì)員 |
| 加入時(shí)間：2020-07-08
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